压印光刻引领光子晶体浪潮

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摘要发光二极管（LED）可以通过采用压印光刻的光子晶体提高效率。为了改进光提取和光束形状，很多LED制造商正在开发光子晶体LED。其挑战主要是晶圆并非非常清洁和平整，并容易带有数微米尺寸的表面突起。

作者 Michael P.C. Watts

机构地区 Consultant

出处《集成电路应用》 2009年第6期24-25,共2页 Application of IC

关键词光子晶体压印光刻发光二极管光束形状 LED 制造商晶圆

1张亚军,段玉刚,卢秉恒,王权岱.纳米压印光刻中模版与基片的平行调整方法[J].微细加工技术,2005(2):34-38. 被引量：1
2李洪珠.纳米压印光刻技术及其发展现状[J].电子与封装,2005,5(12):1-5. 被引量：2
3卢兴强,钱列加,等.高功率激光放大器中输出光束现状的理论研究和数值模拟[J].激光与光电子学进展,2001,38(9):9-10.
4李正军,吴振森,李焕,李海英.Arbitrary direction incident Gaussian beam scattering by multispheres[J].Chinese Physics B,2011,20(8):150-160. 被引量：3
5【CEATEC】罗姆利用光子结晶制成可改变光束形状和尺寸的半导体激光器[J].光机电信息,2006(10):60-60.
6械制造自动化[J].中国学术期刊文摘,2007,13(22):5-6.
7秦旭光,李涤尘,李寒松,丁玉成,卢秉恒.微压印光刻的模具制作工艺研究[J].电子工艺技术,2003,24(5):207-209. 被引量：2
8WANG Quandai,WANG Quandai,DUAN Yugang,DUAN Yugang,LU Bingheng,LU Bingheng.A Novel Three-dimensional Microstructure Fabrication Method Based on Multilevel Imprint Lithography[J].Chinese Journal of Electronics,2009,18(4):583-587. 被引量：1
9秦旭光,李涤尘,李寒松,丁玉成,卢秉恒.高分辨率常温压印光刻工艺研究[J].电加工与模具,2003(3):53-55. 被引量：1
10成丹.基于光闸莫尔原理的压印套刻对准方法[J].天津工程师范学院学报,2008,18(1):17-20.

集成电路应用

2009年第6期

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