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XPS深度剖析中氩离子诱发氧化铈(CeO_2)还原反应 被引量:2

Reduction of Ceria (CeO_2) Induced by Argon Ion Beam in XPS Depth Profiling
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摘要 本文简明报道了氩离子刻蚀XPS深度剖析中氩离子诱发的二氧化铈还原反应现象及其随离子刻蚀时间的变化规律,并对其机理进行了讨论分析。 The reduction of ceria induced by argon ion beam used for etching and its change as a function of etching time in XPS depth profilingand the relevant mechanism were discussed.
作者 吴正龙
出处 《现代仪器使用与维修》 1998年第3期14-15,20,共3页 Modern Instruments
关键词 XPS 二氧化铈 氩离子 还原反应 XPS depth profiling ceria argon ion reductive reaction
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