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SiC晶须VLS生长机理及生长动力学研究 被引量:7

Studies on the Growth Mechanism and the Kinetics of Synthesizing SiC Whiskers by VLS Process
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摘要 对VLS机理下稻壳合成SiC晶须(SiCW)及生长动力学进行了研究。结果表明,SiO2与C在高温下生成SiO的反应是SiC晶须生长的速率控制步骤;在形成晶须的催化剂作用下,SiC晶须的生长速率与SiO在催化剂熔球周围的浓度成正比;SiC晶须生长的催化选择性随温度的增加而提高;复合催化剂可提高合成SiC晶须的反应速率及催化选择性。 SiC whiskers (SiC W) synthesized from rice hulls and growth kinetics via VLS process are studied.The formation reaction of SiO from SiO_2 and C at high temperature is the rate-determing step in SiC W synthesis process.Under the effect of whisker-formation-catalyst,the growth rate of SiC W is directly proportional to the concentration of SiO near the melten phase of the catalyst.The selectivity of the catalyst for growing SiC W increased with the temperature.The composite catalyst enhances the reaction rate and the selectivity forg rowing SiC W.
出处 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 1998年第3期256-260,共5页 化学物理学报(英文)
关键词 生长动力学 催化剂 稻壳 碳化硅晶须 合成 VLS SiC whisker\ Growth mechanism\ Growth kinetics\ Catalyst
  • 相关文献

参考文献6

  • 1王启宝,人工晶体学报,1997年,26卷,33页
  • 2孟广耀,化学气相淀积与无机新材料,1984年,192页
  • 3团体著者,无机化学.下(第2版),1983年,590页
  • 4闵乃本,晶体生长的物理基础,1982年,324页
  • 5郝润蓉,无机化学丛书.碳硅锗分族,1982年,192页
  • 6梁训裕,炭化硅耐火材料,1981年,109页

同被引文献32

引证文献7

二级引证文献20

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