摘要
本文介绍了美国NIST、德国PTB、日本NMIJ、意大利IMGC、韩国KRISS、中国计量科学研究院NIM和国防科技工业真空一级计量站(兰州物理研究所LIP)的气体微流量测量技术的研究进展,并对其测量方法,测量装置性能指标进行了评述。
The development of gas microflow metrology in American NIST, German PTB, Japanese NMIJ, Italian IMGC, Korean KRISS and Chinese NIM （National Institute of Metrology） and Primary Standard Laboratory of Vacuum of LIP are reviewed Their different calibration methods, applications and performance of their calibration systems are discussed.
出处
《真空》
CAS
北大核心
2010年第1期1-6,共6页
Vacuum
