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晶圆全自动测试接口技术的设计与实现

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摘要根据晶圆自动测试系统的设计构思，先后完成了电路测试仪及探针台的改进，测试结果信号进行传递的互联接口模块的设计和制作。测试系统实现后进行了实际测试验证。测试过程和结果表明，该系统实现了电路测试的自动化，适用于大批量生产过程的晶圆测试。

作者曾雪来明源方岚朱芳

机构地区中国兵器工业第

出处《集成电路通讯》 2009年第4期51-54,共4页

关键词晶圆全自动测试系统接口模块

分类号 TN641 [电子电信—电路与系统] TP334.7 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]

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集成电路通讯

2009年第4期

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