摘要
本文在介绍采用硅微电子机械加工系统制造硅微型气流传感器的结构和工作原理的基础上。
Abstract This paper introduces to a new structure and principle of micro-gas flow sensorusing microelectro-mechanical systems, which using results and characteristics have beenanalysized.
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1998年第4期51-55,共5页
Chinese Journal of Sensors and Actuators
基金
黑龙江大学科研项目
关键词
硅微机械加工
气流传感器
多晶硅电阻
特性分析
silicon micromachininggas flow sensorcharactersitics analyses of polysilicon resistances.
