摘要
介绍近几年来发展起来的激光光热偏转法测量固体和固体薄膜热扩散率的基本原理，并提出优化设计的测量装置，利用此装置测量了康宁玻璃基上硼硅合金薄膜的低热扩散率。
The measurement principle of thermal diffusivity of solid and solid films by laser photothermal deflection technique developed over the years, and the details of optimizing the measurement set up are described. Low diffusivity of silicon boron(Si B) alloy thin film on Corrning 7059 glass substrate is determined.
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第1期30-33,共4页
Laser & Infrared
基金
国家自然科学基金
浙大曹光彪基金
香港理工大学研究基金
关键词
光热偏转法
测量
热扩散率
固体材料
photothermal deflection technique, measurement, thermal diffusivity.
