摘要
采用化学溶液法在SiC/Si上制备了YMnO3薄膜。XRD结果显示所制备的薄膜为六方YMnO3,且具有部分择优取向生长。拉曼光谱和XPS的结果验证了样品为六方纯相YMnO3。以Pt为顶电极,测试了YMnO3薄膜的电滞回线,结果显示YMnO3薄膜具有良好的铁电性质。
The YMnO3 thin film was prepared on SiC/Si by chemical solution deposition. The result of XRD displays that the sample is hexagonal phase with partly c-axis orientation. The Raman and XPS spectra indicate the sample is compose of pure hexagonal YMnO3. P-E hysteresis loop of hexagonal YMnO3 films deposited on SiC/Si was measured. It is seen that the films have good ferroelectric performance.
出处
《硅酸盐通报》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第4期967-971,共5页
Bulletin of the Chinese Ceramic Society
基金
国家自然科学基金(50802023)
河南省科技攻关重点项目(082102270039
102102210115)
河南省高等学校青年骨干教师资助计划(2009GGJS-026)
河南省教育厅自然科学研究计划(2008B140003
2009A430002)
