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叉指电容式汽车安全气囊硅微加速度传感器的设计和分析

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摘要本文对一种基于MEMS技术的2-D梳状插指电容加速度传感器的设计方案进行了分析、研究和仿真。该加速度传感器使用同一衬底上整合的独立的相互垂直的梳状插指电容结构,实现平面上的加速度监测,灵敏度和分辨率满足汽车安全气囊用要求。

作者南昊田露

机构地区清华大学

出处《今日科苑》 2010年第20期61-61,71,共2页 Modern Science

关键词 MEMS 加速度传感器安全气囊

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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今日科苑

2010年第20期

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