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《中国学术期刊文摘》综述文摘选登

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摘要 大面积光学级金刚石自支撑膜制备、性能及其在高技术领域的应用前景 吕反修 (北京科技大学材料科学与工程学院,北京100083) 综述了近年来在CVD金刚石膜光学应用领域的研究进展;给出了采用高功率直流电弧等离子体喷射(DC Arc Plasma Jet)CVD工艺制备大面积光学级金刚石自支撑膜的研究结果;
出处 《科技导报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第21期118-118,共1页 Science & Technology Review
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