SOI晶片制造技术及其应用前景被引量：6

Progress in the Manufacturing Technology of SOI Wafers and Its Applications

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摘要介绍了近年来国外ＳＯＩ晶片制造技术的进展及ＳＯＩ晶片在ＵＬＳＩ方面的应用情况。 An overview of the manufacturing technology of SOI wafer and its applications in ULSI is presented

作者任学民

机构地区信息产业部电子

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第3期1-7,共7页 Semiconductor Technology

关键词 SOI晶片晶片键合技术 ULSI IC SOI wafers Wafer bonding technology

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半导体技术

1999年第3期

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