摘要
用 Ｔｉ Ｃｌ４ 作 原料 ，通 过 溶 胶凝胶 法 在 单 晶 硅 基 片 上 制 备 了 Ｔｉ Ｏ２ 纳 米 薄 膜， 并 用 Ｘ Ｒ Ｄ， Ａ Ｅ Ｓ， Ｘ Ｐ Ｓ 以及紫 外反射光 谱等手段 ，对 Ｔｉ Ｏ２ 薄膜的结 构进 行了 研究． 结 果发 现， Ｔｉ Ｏ２ 薄膜 以锐钛矿型 晶相存在 ． Ｔｉ Ｏ２ 薄膜层与 硅衬底 间无明显 的 界面 扩散 反 应． 掺杂 的 Ｐｄ 在 还原 前的 薄 膜中以氧化 态存在 ，还原后则 以高分 散的金属 态存在 ． 掺 杂的 Ｐｔ 在还 原前 后 均以 金 属态 存在 ，但 还原后产生 颗粒聚 集． 掺 杂 Ｐｄ 的 Ｔｉ Ｏ２ 薄膜经 还原后，其 紫外吸 收强度明 显提高 ，主吸收峰 发生红
TiO 2 film was prepared by using sol gel method with TiCl 4 as a precursor. The film is composed of anatase phase and its thickness is about 160 nm. The interface diffusion and reaction between TiO 2 and Si substrate during annealing treatment are very weak and can be neglected. The doped Pt and Pd existed as metallic Pt and PdO in TiO 2 film, respectively. But after the films were reduced with H 2, Pt existed as aggregated metallic Pt particles, while Pd existed as high dispersed metallic Pd particles. The absorption intensity of Pd TiO 2 film for UV and visual light can be intensified significantly, and the main absorption peak shifted to red after reduction with H 2. This results from the interaction of high dispersed Pd with the TiO 2 film.
出处
《催化学报》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
1999年第3期362-364,共3页
基金
国家教委留学回国人员启动基金
清华大学基础研究基金
关键词
溶胶
凝胶法
二氧化钛
薄膜
光催化剂
纳米级
sol gel method, titania, film, photocatalyst, noble metal doping
