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SOI高温器件及其在汽车电子等领域中的应用 被引量：3

SOI HIGHTEMPERATURE DEVICES AND THEIR APPLICATIONS IN AUTOMOBILE ELECTRONICS
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摘要 石油钻井、航空航天、汽车等工业领域急需能在高温下工作的器件和电路．ＳＯＩ（ｓｉｌｉｃｏｎ－ｏｎ－Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）技术在高温器件和电路方面有着广泛的应用前景． High-temperature devices and circuits are in urgent need in the well logging, aerospace and automotive industries. Silicon-on-insulator(SOI) technology holds great promise in the fabrication of high-temperature devices and circuits.Current developments in the application of SOI technology to this field are reviewed.
作者 刘彦松 多新中 黄继颇 张苗 王连卫 林成鲁
机构地区 中国科学院上海冶金研究所
出处 《物理》 CAS 1999年第7期412-416,共5页 Physics
基金 国家自然科学基金 国防军工重点预研资助项目
关键词 SOI 高温器件 高温电路 体硅器件 应用 SOI,high-temperature devices and circuits
分类号 TN43 [电子电信—微电子学与固体电子学]
  • 相关文献

参考文献4

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同被引文献16

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引证文献3

二级引证文献13

物理
1999年 第7期

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