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表面分析技术在研究与开发中的应用

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摘要在本系列的第一部分中,我们说明了如何应用常用的分析手段来解决实际过程中的问题。在第二部分中,讨论了这些技术是如何运用的,并着重讨论了它们各自的空间分辨率。本文列举了一个又一个的例子,来表明表面分析技术的巨大威力。

作者 Paul.K Chu 毕宏达

出处《微电子学》 CAS CSCD 1990年第1期65-70,共6页 Microelectronics

关键词表面分析技术表面分析仪

分类号 TH838 [机械工程—精密仪器及机械]

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微电子学

1990年第1期

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