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多晶硅化学制备方法的比较分析 被引量:7

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摘要 多晶硅生产方法分化学法和物理法(又称“冶金法”)2大类,化学法应用化学原理对硅进行提纯,物理法通过冶金原理对硅进行提纯。物理法制备的多晶硅产品纯度有限,一般在4N-6N左右,根据市场应用情况来看,太阳能级多晶硅纯度需达到6N-7N,而电子级多晶硅的纯度以9N以上为宜。因此,物理法制备的多晶硅不能用于半导体材料,用于太阳能电池也尚处于探索、试产阶段,暂时还不具备进行大规模工业化生产的能力。
作者 刘小锋 王岭
出处 《新材料产业》 2011年第6期65-69,共5页 Advanced Materials Industry
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引证文献7

二级引证文献25

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