期刊文献+

基于单传感器的大行程纳米级混合直线执行器 被引量:1

Hybrid Linear Actuator Based on Single Sensor for Large Travel Range and Nanometer Resolution
下载PDF
导出
摘要 为了突破拥有多个传感器的独立叠堆混合执行器的局限性,一种新式的混合直线执行器结合了具有极高分辨率的压电系统和具有大行程范围的电机系统。为了减少间隙,选择了进给丝杆作为传动机构。为了提高绝对定位精度,控制器仅依赖于一个位移传感器,从而同时完成了粗动与精动的定位控制。针对提高天线指向控制系统的整体性能,设计了特定的混合直线执行器的控制系统。通过测试原理样机,最终验证了该系统从启动到稳定,每一个动作都能充分体现出压电执行器与电机执行器混合的优势。 To overcome the limitations of the independent stacked hybrid actuator with separated sensor,a new hybrid linear actuator combines the piezoelectric system with extremely high resolution and motorized system with long travel range.Lead screws drive is picked up to reduce backlash behavior.For the maximum absolute positioning accuracy,the controller relies on only single common position sensor for both the coarse and fine positioning ranges at the same time.To improve the integral performance of antenna pointing control system,a given hybrid actuator control system is designed.Every motion benefits from the hybrid advantages of both piezoelectric actuator and motorized actuator from startup to settling,demonstrated by a principle prototype in the end.
出处 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第3期390-393,共4页 Piezoelectrics & Acoustooptics
基金 2010年陕西省自然科学基础研究计划基金资助项目(2010JM7020) 2009年第二炮兵工程学院创新性探索研究基金资助项目(XY2009JJB04)
关键词 压电 电机 混合 执行器 行程 纳米定位 传感器 SIMULINK piezoelectric motor hybrid actuator travel nano-positioning sensor Simulink
  • 相关文献

参考文献6

  • 1GLOESS R. Sub-nanometer precision hybrid positioning systems for vertical inspection tools in nanotechnology and semiconductors [R]. Germany: PI (Physik Instrumente) I. P Piezo Nano Ositioning, 2008.
  • 2GLOESS R. Hybrid actuators for large travel range and extreme high resoluton[R]. Germany: PI(Physik Instrumente) L P Piezo Nano Positioning, 2007.
  • 3林德教,吴健,殷纯永.具有纳米级分辨率的超精密定位工作台[J].光学技术,2001,27(6):556-557. 被引量:25
  • 4叶树亮,谭久彬.具有纳米分辨力二维超精密定位系统的研制[J].哈尔滨工业大学学报,2005,37(11):1472-1475. 被引量:3
  • 5GLOSSARY. Micropositioning fundamentals (cont.) [EB/OL]. http://www.physikinstrumente.com/cn/ products/prdetail.php? sortnr-700500. 00 , 2010-07- 22.
  • 6MARTH H, LULA B. Development of a compact, high load PZT-ceramic, long travel, linear actuator with picometer resolution for active optical alignment applications[R]. PI (Physik Instrumente) L P Piezo Nano Positioning, 2006.

二级参考文献13

共引文献26

同被引文献4

引证文献1

二级引证文献1

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部