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对影响内引线键合可靠性的因素的分析与对策 被引量:6

Analysis and Research of the Effect on the Wire Bonding Reliability
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摘要 简述了半导体器件内引线键合的机制及如何检测内引线的键合质量, 分析了影响内引线键合质量的因素, 重点分析了半导体器件最常见的失效模式——键合点脱落的因素, This article first expounds the mechanism of wire bonding for semiconductor devices,then analyses the effect on wirebonding reliability,emphatically analyses the effect on the most common failure mode of semiconductor devices:dropped bond pad.
机构地区 电子十三所
出处 《半导体情报》 1999年第5期53-56,共4页 Semiconductor Information
关键词 引线键合 可靠性 半导体器件 制造工艺 Wire bonding Reliability
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引证文献6

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