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西门子法多晶硅还原炉气相沉积反应探讨 被引量:6

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摘要 自西门子公司在20世纪50年代发明了采用提纯的三氯氢硅(SiHCl3)在氢气(H2)气氛下在加热的硅芯表面反应沉积多晶硅的方法——西门子法,此后各国都在十分保密的情况下发展各自的多晶硅工艺,我国多晶硅生产自2006年开始增长迅猛。原料硅粉的纯度已达到99.3%,为去除其中0.7%的杂质,不仅要有洁净生产的理念,而且要有元素平衡的理念。
作者 李汉
出处 《新材料产业》 2011年第10期77-79,共3页 Advanced Materials Industry
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参考文献4

二级参考文献47

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共引文献205

同被引文献29

引证文献6

二级引证文献14

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