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晶片传递手指优化设计

Optimal Design of the Wafer Transfer Finger
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摘要 通过使用ANSYS软件的优化模块,对机器人常见的Y型手指结构进行优化,结果有效地减少了手指端部的下挠度,降低了手指下挠在示教阶段产生的不良影响。 By using the ANSYS software optimization module,optimized the Y-type robot finger structure.Optimization results effectively reduce the finger's deflection and have a better effects in the teaching phase.
出处 《装备制造技术》 2011年第11期46-47,66,共3页 Equipment Manufacturing Technology
关键词 传递手指 优化设计 APDL robot finger optimal design APDL
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