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扫描电镜(SEM)在失效分析中的应用 被引量:35

Application of Scanning Electron Microscope in Failure Analysis
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摘要 失效分析是故障分析的重要方法,而扫描电镜为失效分析的重要手段,两者在工程领域有着广泛的应用,尤其是在断口分析中的应用。通过扫描电镜可以确定失效的形式和机理,对于确定故障的原因和制定措施起着关键作用。笔者通过工程具体的实例,结合失效分析理论,应用扫描电镜的分析,针对具体工程问题分析了原因,并制定了措施,着重介绍了扫描电镜在失效分析中的应用。 Failure analysis is important method for identification of engineering failure.And scanning electron microscope(SEM) is instrument of failure analysis.Both two are effecting widely across engineering field especially application of fracture analysis.Failure mode and root cause can be identified;meanwhile countermeasure can be made through SEM.This article will explain application of failure analysis by SEM through an actual engineering failure case.In this case,root cause is identified and countermeasure is made through aid of SEM.
作者 石祝竹 莫煜
出处 《装备制造技术》 2011年第11期142-144,共3页 Equipment Manufacturing Technology
关键词 电镜扫描 失效分析 断口分析 SEM failure analysis fracture analysis
  • 相关文献

参考文献2

  • 1朱张校.工程材料[M].北京:清华大学出版社,2000.
  • 2孙智,江利,应鹏展.失效分析:基础与应用[M].北京:机械工业出版社,2005.

共引文献9

同被引文献128

引证文献35

二级引证文献110

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