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脊形波导气流传感器制作

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摘要脊形波导气流传感器制作王跃林，金仲和，丁纯，徐义刚（浙江大学信电系）光纤作为传感元件已为人们广泛接受并得到相当的重视，脊形光波导与光纤一样是一种光波导，当然也能用作传感元件。本文用微机械技术解决了脊形波导与机械结构间的工艺兼容性问题，制作了一种用波导...

作者王跃林金仲和丁纯徐义刚

机构地区浙江大学信电系

出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期371-371,共1页 Chinese Journal of Scientific Instrument

基金国家自然科学基金

关键词脊形波导气流传感器光波导固定臂干法刻蚀国家自然科学基金叶片半导体激光器传感元件光敏器件

分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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仪器仪表学报

1996年第S1期

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