摘要
介绍了一种直线位移传感器校准装置。该系统以自行研制开发的高准确度单频激光干涉仪为长度标准,通过可编程位移发生装置的配套使用实现了直线位移传感器的校准。
A device for calibrating linear displacement transducers is introduced.The system uses a high precision single frequency laser interferometer as length standard and combines with a programable displacement generating device to realize the calibration of linear displacement transducer.
出处
《计测技术》
2011年第6期15-17,共3页
Metrology & Measurement Technology
基金
"十一五"技术基础计量科研项目资助(J052006B101)
关键词
位移传感器
单频激光干涉仪
校准
displacement transducer
single frequency laser interferometer
calibration
