摘要
采用溶胶—凝胶(sol—gel)法制备掺钛SnO2薄膜,通过制备过程中变化不同质量分数的钛掺杂来制备3种不同质量分数(5%,10%,15%)的掺钛SnO2薄膜。在常温下对膜片在丙酮、甲烷气氛中进行气敏光学特性测试。结果表明:掺钛SnO2薄膜在常温下对不同的测试气体具有不同的反应,并且薄膜的灵敏度与掺杂量有关;质量分数为5%钛掺杂SnO2薄膜在丙酮气氛下的灵敏度在1300～2500 nm波长范围保持在13%左右,而质量分数为15%钛掺杂SnO2薄膜在甲烷气氛下的灵敏度在1700～2300 nm范围内保持在7%左右。
SnO2 ： Ti thin film is prepared by sol-gel method. SnO2 ： Ti thin film of three different mass fractions （5 % ,10 % ,15 % ）are prepared during the preparation process. The gas-sensing optical properties of the film in the acetone atmosphere and methane atmosphere are researched at the room temperature. The results show that SnO2 ： Ti thin film has different responses for different test gas and is related to doping quantities. Mass fraction of 5 % SnO2 ： Ti thin film in the acetone atmosphere remains at 13 % at the range of 1 300 -2 500 nm wavelength. Mass fraction of 15 % SnO2 ： Ti thin fihn in the methane atmosphere remains aroud 7 % at the range of 1 700 - 2 300 nm wavelength.
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2012年第2期84-86,共3页
Transducer and Microsystem Technologies
