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微系统与电化学 被引量:14

Microsystem and electrochemistry
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摘要 本文简要介绍微系统的涵义、发展和主要特点。通过列举并讨论电化学在微系统中的应用以及微系统在电化学中的可能应用 ,阐明作为纳米科技一个重要组成部分的微系统的兴起将在二十一世纪为电化学提供新的发展机遇。 Microsystem or micro electromechanical system (MEMS) is briefly introduced. The electrochemical applications in microsystem are reviewed and prospective applications of microsystem in electrochemistry are discussed. Along with the rapid development of micro_ analytical chemical systems or lab_on_chips in 21st century, electrochemistry may play an increasingly important role in microsystem technology.
出处 《电化学》 CAS CSCD 2000年第1期1-9,共9页 Journal of Electrochemistry
基金 国家杰出青年科学基金! (2 96 2 5 30 6 ) 国家自然科学基金!重点项目 (2 98330 70 )
关键词 微系统 微机电系统 电化学 纳米科技 Microsystem, MEMS, Electrochemistry, Nano_technology
  • 相关文献

参考文献15

  • 1Cohen A,IEEE Technical Digest,1999年
  • 2Ma L,现代科学仪器,1999年,3卷,3页
  • 3Wang W Y,Semiconductor sensor and microelectro mechanical systems,1999年
  • 4Zu Y B,Electrochimica Acta,1998年,43卷,1683页
  • 5Cai X W,Langmuire,1998年,14卷,2508页
  • 6Motamedi M E,Opt Eng,1997年,36卷,1282页
  • 7Wu M C,Proceeding of IEEE,1997年,85卷,1883页
  • 8Xiao S,计算机用户,1997年,4卷,9页
  • 9Zhou Z Y,Micro-Nanometer Sci Technol,1996年,12卷,1期,1页
  • 10Tian Z W,仪器仪表学报,1996年,17卷,1期,14页

同被引文献94

引证文献14

二级引证文献32

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