微斑光电流谱和光反射谱的自动测量系统

Automatic Measurement of Microspot Photocurrent and Reflection Spectra

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摘要叙述了为测量半导体光电器件的光电流谱和光反射谱所构成的自动测量系统及其数据处理方法。 The automatic measurement system and the data processing method are discussed for microspot photocurrent spectrum and reflection spectrum of semiconductor optoelectronic devices.

作者张培宁张世林郭维廉林世鸣陈弘达

机构地区天津大学电子信息工程学院中国科学院半导体所

出处《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2000年第1期69-70,共2页 Semiconductor Optoelectronics

基金中科院开放实验室资金

关键词光电流谱光反射谱自动测量系统微斑 photocurrent spectrum reflection spectrum measurement

分类号 TN307 [电子电信—物理电子学]

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半导体光电

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