真空压力测量和电离信号传感

The Vacuum Pressure Measurement and the Ionized Signal Sensation

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摘要介绍测量真空压力的传感器原理及组成 This paper introduced the principle and structure of a sensor for use of vacuum pressure measurement.

作者喻宗泉康裕民

机构地区武汉华中理工大学汉口分校武汉离子化学热处理研究所

出处《自动化博览》 2000年第1期19-20,共2页 Automation Panorama1

关键词渗氮工件表面测量真空压力传感器电离信号 Vacuum pressure Sensor

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