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电荷耦合器件及其应用进展 被引量:19

Progress in Charge Coupled Device and Its Applications
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摘要 电荷耦合器件 (CCD)是基于金属 氧化物 半导体 (MOS)技术的光敏元件。目前CCD已具有光谱响应范围宽、检出限低、动态范围宽、暗电流和读出噪声低以及具有积分信号、多道同时检测信号和实时监测等能力的优点。目前它已经广泛地应用在各个领域。本文扼要介绍了CCD的基本工作原理 ,特点及性能表征。评述了CCD在光谱检测和成象领域中较活跃的应用及发展前景。指出了CCD技术的发展给光谱分析领域带来了革命性的进展。 Charge coupled device(CCD)is a photosensitive element based on the metal oxidesemiconductor technology.Currently,it has a number of benefits:broad spectral range response,low detection limit,wide dynamic range,minimal dark current and readout noise as well as abilities of signal integration,simultaneous multichannel detection and real time detection.In this paper,the operational principle,features and performance characterization of CCD are introduced and its application in spectral detection and spectral imaging are reviewed.The development of CCD technique has brought a revolutionary progress in the spectroscopic areas.Its future developments are also outlooked.
出处 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期160-166,共7页 Spectroscopy and Spectral Analysis
关键词 电荷耦合器件 光谱检测 光谱成象 光谱分析 Charge coupled device, Spectral detection, Spectral imaging
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