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Fabrication of High Aspect Ratio Sub-100 nm Patterns in Fused Silica 被引量:1

Fabrication of High Aspect Ratio Sub-100 nm Patterns in Fused Silica
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出处 《材料科学与工程(中英文A版)》 2012年第5期458-462,共5页 Journal of Materials Science and Engineering A
关键词 熔融石英 高宽比 制造 纳米结构 透明材料 气体混合物 金属膜 生命科学 Nano structures, reactive ion beam etching, metal mask, electron beam lithography.
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