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硅片自动上下料设备的研制 被引量:6

Developing Of Silicon Wafer Automatic Loading&Unloading Equipment
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摘要 通过分析太阳能电池制造过程中硅片的上料和下料方式的现状,提出自动上下料设备研制的必要,介绍了全自动硅片上下料设备的技术参数和工艺流程,详细分析了设备的结构设计,包括自动换蓝组件、装片组件、缓存组件、传动系统、电气控制系统和设备主体等。 This thesis expounded the necessity of the automatic loading & unloading equipment through analyzing the loading & unloading mode in solar cell manufacture. It introduced the technical parameters and process of the automatic loading & unloading equipment .It analysis the equipment's structure. The equipment included a cassette automatic circular module ,a wafer loading module, a wafer buffer module, a driver system ,a electrical control system and the main framework.
出处 《物流工程与管理》 2012年第6期123-124,126,共3页 Logistics Engineering and Management
关键词 硅片 上料 下料 silicon wafer loading unloading
  • 相关文献

参考文献1

  • 1刘玉岭,檀柏梅,张楷亮.微电子技术工程[M].北京:电了工业出版社,2004:64—67.

共引文献12

同被引文献8

引证文献6

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