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LED探针台CCD采集数据处理算法的研究 被引量:1

Algorithm Research of LED Probe CCD Acquisition Data
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摘要 因LED测试芯片经过切割、崩裂、扩张后其上的晶粒会产生很大变形,产生很多空点和排列不规则的点。LED探针台使用面阵相机对晶圆上的晶粒图像数据采集时,两屏之间存在重叠区域,造成大量重复数据。要短时间内获取到点附于蓝膜上晶粒的精确唯一位置和坐标,需要寻找一种可靠高效的数据处理算法,通过对几种数据处理算法进行研究得出最优算法。 LED test chip in the blue film, after cutting, crack, expansion, the grains on the test chip produce many empty and irregular points. LED probe employ the plane array camera to collect the image data of die, there is an overlap region between two screen, resulting in a large number of duplicate data. To obtain a precise location data and coordinate data of the blue film grain in a short period of time, you need to find a reliable and efficient data processing algorithms. This paper studies the optimal algorithm on several data processing algorithms.
作者 刘国敬
出处 《电子工业专用设备》 2012年第7期13-14,39,共3页 Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词 LED探针台 数据处理 坐标资料 MAP图 LED Probe Station Data Processing Coordinate Data Map Figure
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