摘要
分析影响螺母定位精度的因素,提出了丝杠轴窜误差;设计了基于激光干涉仪的测试方案,搭建了实验非接触式测试系统,对测试系统进行了误差分析,最后对理论分析进行了实验验证。实验结果表明,丝杠螺母副轴向窜动呈周期性变化,正反方向周期一致,其幅值大小为90nm左右;该误差对螺母的定位精度影响在亚微米范围。
By analyzing the factors influencing the positioning accuracy of the nut, the axial shifting error is proposed. We establish the test platform based on the interferometer sensor to detect the errors. Theoretical analysis is verified with experiments, and the result indicate that the axial shifting of the screw nut pairs changes periodically with an amplitude of 90nm which influence the positioning accuracy of the nut in a sub-micrometer range.
出处
《长春工业大学学报》
CAS
2012年第4期397-401,共5页
Journal of Changchun University of Technology
基金
国家重大科研装备研制基金资助项目(ZBYZ2008-1)
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所知识创新工程资助项目(100132H100)
关键词
丝杠螺母副
精密仪器
轴向窜动
误差分析
非接触式测量
双频激光干涉仪
Key words： screw-nut pairs
precision instrument
axial movement
error analysis
Non-contact measuring
dual-frequency laser interferometer.
