一种光学元件在线检测系统的设计

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摘要介绍了一种平面度的在线检测方法,针对常见的平面光学元件,根据光学自准值原理设计了一套平面度在线检测系统。通过实验,该系统能够完成实时在线测量,且测量结果准确。该系统具有原理简单,方法简便,使用灵活等优点。

作者张彦陟

机构地区闽南理工学院

出处《机电技术》 2012年第5期49-50,共2页 Mechanical & Electrical Technology

基金福建省教育厅项目(JB10178)

关键词光学元件在线检测平面度自准值

参考文献4

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机电技术

2012年第5期

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