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硅/硅直接键合制造双极型静电感应晶体管
被引量:
1
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摘要
用硅/硅直接键合片(SDB)代替了高阻外延片成功地制造了新型电力器件双极型静电感应晶体管(BSIT),正向阻断电压800V以上,漏极输出电流2A,展示了SDB片广阔的应用前景。
作者
李思渊
桑保生
刘肃
杨建红
机构地区
兰州大学场感应器件研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1991年第6期15-16,共2页
Semiconductor Technology
关键词
双极晶体管
制造
硅/硅
直接键合片
分类号
TN322.8 [电子电信—物理电子学]
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半导体技术
1991年 第6期
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