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硅/硅直接键合制造双极型静电感应晶体管 被引量:1

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摘要 用硅/硅直接键合片(SDB)代替了高阻外延片成功地制造了新型电力器件双极型静电感应晶体管(BSIT),正向阻断电压800V以上,漏极输出电流2A,展示了SDB片广阔的应用前景。
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1991年第6期15-16,共2页 Semiconductor Technology
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