用正交试验法研究铝等离子干蚀

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摘要用正交试验法研究铝等离子干蚀中几种重要因素对铝刻蚀速率及铝与胶的刻蚀选择比的影响，确定这几种因素对刻蚀影响的大小，并找出较估的刻蚀条件。

作者于海宁肖勇兵

机构地区中国兵器工业第

出处《集成电路通讯》 2000年第3期7-9,,22,,共4页

关键词正交试验法铝射频电流选择比等离子干蚀

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集成电路通讯

2000年第3期

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