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多晶硅工艺管道及设备络合清洗

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摘要微电子级多晶硅生产工艺要求原料要在"无油、无水、无尘"的环境下运行,系统洁净度要求高。络合清洗过程就是利用有机化合物在一定的浓度和温度下,通过和金属表面的油脂、铁屑、氧化物、化学残留物等反应,生成可溶性的化合物。

作者闫晓辉王卫东

机构地区陕西建工集团设备安装工程有限公司第一分公司

出处《安装》 2013年第2期38-39,共2页 INSTALLATION

关键词微电子级多晶硅洁净度络合清洗 PH值反应时间

分类号 U178 [交通运输工程]

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