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溶胶-凝胶法制备氧化硅光学减反射膜 被引量:7

Preparation of Silica Optical Antireflective Films by Sol-Gel Process
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摘要 综述了溶胶-凝胶光学减反射膜的应用背景及光学原理,系统讨论了溶胶-凝胶氧化硅减反射膜的完整制备工艺以及薄膜在使用过程中的主要性能评价指标,最后展望了薄膜的未来发展趋势。 The background and optical principle of the optical antireflective films are reviewed. The whole process in preparation and the main performances of the silica optical antireflective films by sol-gel method are dis- cussed systematically, and the future development of the sol-gel optical antireflective films is forecasted.
出处 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期15-19,37,共6页 Materials Reports
基金 国家自然科学基金(10835008)
关键词 溶胶-凝胶 氧化硅 光学减反射膜 高功率激光系统 sol-gel, silica, optical antireflective film, high power laser system
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共引文献32

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