对称相位函数掩模化的研究

MASKING OF SYMMETRICAL PHASE FUNCTION

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摘要本文对各种连续对称相位函数及其特性进行了分析 ,讨论了相位函数的 2 π调制、2 N 和 N - 1法量化等问题及数据处理过程 ,提出二元衍射元件 CIF( Caltech IntermediateForm)格式掩模数据的生成方法 ,并建立了实用软件。 In this paper a symmetrical phase function and its characteristic have been studied.The 2π modulation of phase function,the quantization using 2 N and N 1 rule and the data processing were studied.The method of making mask data expressed with CIF format is given.A effective software was developed and which is a useful means for making BOE with direct laser writing.

作者白临波杜春雷李展

机构地区中国科学院光电技术研究所

出处《光子学报》 EI CAS CSCD 2000年第3期255-259,共5页 Acta Photonica Sinica

关键词相位函数掩模化激光直写衍射光学元件 Phase function Masking Direct laser writing CIF format

分类号 O436.1 [机械工程—光学工程]

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参考文献6

1杜春雷.DOE的原理性能及其在传感器中的应用：博士论文[M].四川联合大学,1997.23-40.
2李展.折衍混合成象系统设计原理及其应用研究：博士论文[M].四川大学,1999.46-49,64-68.
3陈波.连续相位微光学器件研究：博士论文[M].四川联合大学,1996.4-9.
4李展，博士学位论文，1999年，46-49,64-68页
5杜春雷，博士学位论文，1997年，23页
6陈波，博士学位论文，1996年，4页

1吉有书.利用Matlab促进高等数学教学的课改[J].黑龙江科技信息,2008(35):217-217. 被引量：2
2陈岩松.二元衍射光学[J].量子电子学,1996,13(3):193-200. 被引量：3
3Yu-feng Ye,Cen-feng Fu,Shan-xi Tian.Molecular Dynamics Simulation Study of CIF in Water： Halogen Bonding Interaction in Liquid[J].Chinese Journal of Chemical Physics,2017,30(1):25-28.
4H. Baer,R.N. Cahn.CROSS-SECTION FORMULAE FOR SPECIFIC PROCESSES[J].Chinese Physics C,2016,40(10):570-578.
5K.A.Olive,K.Agashe,C.Amsler,M.Antonelli,J.-F.Arguin,D.M.Asner,H.Baer,H.R.Band,R.M.Barnett,T.Basaglia,C.W.Bauer,J.J.Beatty,V.I.Belousov,J.Beringer,G.Bernardi,S.Bethke,H.Bichsel,O.Biebe,E.Blucher,S.Blusk,G.Brooijmans,O.Buchmueller,V.Burkert,M.A.Bychkov,R.N.Cahn,M.Carena,A.Ceccucci,A.Cerr,D.Chakraborty,M.-C.Chen,R.S.Chivukula,K.Copic,G.Cowan,O.Dahl,G.D'Ambrosio,T.Damour,D.de Florian,A.de Gouvea,T.DeGrand,P.de Jong,G.Dissertor,B.A.Dobrescu,M.Doser,M.Drees,H.K.Dreiner,D.A.Edwards,S.Eidelman,J.Erler,V.V.Ezhela,W.Fetscher,B.D.Fields,B.Foster,A.Freitas,T.K.Gaisser,H.Gallagher,L.Garren,H.-J.Gerber,G.Gerbier,T.Gershon,T.Gherghetta,S.Golwala,M.Goodman,C.Grab,A.V.Gritsan,C.Grojean,D.E.Groom,M.Grnewald,A.Gurtu,T.Gutsche,H.E.Haber,K.Hagiwara,C.Hanhart,S.Hashimoto,Y.Hayato,K.G.Hayes,M.Heffner,B.Heltsley,J.J.Hernandez-Rey,K.Hikasa,A.Hocker,J.Holder,A.Holtkamp,J.Huston,J.D.Jackson,K.F.Johnson,T.Junk,M.Kado,D.Karlen,U.F.Katz,S.R.Klein,E.Klempt,R.V.Kowalewski,F.Krauss,M.Kreps,B.Krusche,Yu.V.Kuyanov,Y.Kwon,O.Lahav,J.Laiho,P.Langacker,A.Liddle,Z.Ligeti,C.-J.Lin,T.M.Liss,L.Littenberg,K.S.Lugovsky,S.B.Lugovsky,F.Maltoni,T.Mannel,A.V.Manohar,W.J.Marciano,A.D.Martin,A.Masoni,J.Matthews,D.Milstead,P.Molaro,K.Monig,F.Moortgat,M.J.Mortonson,H.Murayama,K.Nakamura,M.Narain,P.Nason,S.Navas,M.Neubert,P.Nevski,Y.Nir,L.Pape,J.Parsons,C.Patrignani,J.A.Peacock,M.Pennington,S.T.Petcov,Kavli IPMU,A.Piepke,A.Pomarol,A.Quadt,S.Raby,J.Rademacker,G.Raffel,B.N.Ratcliff,P.Richardson,A.Ringwald,S.Roesler,S.Rolli,A.Romaniouk,L.J.Rosenberg,J,L.Rosner,G.Rybka,C.T.Sachrajda,Y.Sakai,G.P.Salam,S.Sarkar,F.Sauli,O.Schneider,K.Scholberg,D.Scott,V.Sharma,S.R.Sharpe,M.Silari,T.Sjostrand,P.Skands,J.G.Smith,G.F.Smoot,S.Spanier,H.Spieler,C.Spiering,A.Stahl,T.Stanev,S.L.Stone,T.Sumiyoshi,M.J.Syphers,F.Takahashi,M.Tanabashi,J.Terning,L.Tiator,M.Titov,N.P.Tkachenko,N.A.Tornqvist,D.Tovey,G.Valencia,G.Venanzoni,M.G.Vincter,P.Vogel,A.Vogt,S.P.Wakely,W.Walkowiak,C.W.Walter,D.R.Ward,G.Weiglein,D.H.Weinberg,E.J.Weinberg,M.White,L.R.Wiencke,C.G.Wohl,L.Wolfenstein,J.Womersley,C.L.Woody,R.L.Workman,A.Yamamoto,W.-M.Yao,G.P.Zeller,O.V.Zenin,J.Zhang,R.-Y.Zhu,F.Zimmermann,P.A.Zyla,G.Harper,V.S.Lugovsky,P.Schaffner.CROSS-SECTION FORMULAE FOR SPECIFIC PROCESSES[J].Chinese Physics C,2014,38(9):517-525.
6陈岩松,李德华.一种设计二元衍射元件的优化方法[J].物理学报,1996,45(8):1331-1336. 被引量：1
7凯瑟琳.波尔扎克.捕获光线的廉价材料[J].科技创业,2010(5):98-99.
8任延同,付永启.衍射光学元件制作技术及未来展望[J].光学精密工程,1997,5(2):7-11. 被引量：5
9徐寿泉.基模高斯光束在透镜焦面上的衍射场强分布[J].韩山师范学院学报,1999,20(2):1-5.
10吉耀武.MATLAB辅助数学课堂教学的探索实践[J].数学学习与研究,2014(21):36-36.

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