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上海硅酸盐所成功研制出大尺寸和复杂形状透明陶瓷

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摘要钇铝石榴石（YAG）、氧化钇（Y202）等透明陶瓷是重要的激光基质材料，同时，它在可见一中红外波段透过率高，是高温窗口或中红外光学窗口、半球形整流罩的重要候选材料。此外，它们还具有极佳的抗等离子体侵蚀性能，在半导体刻蚀装备中具有重要的应用价值。

出处《山东陶瓷》 CAS 2013年第2期23-23,共1页 Shandong Ceramics

关键词透明陶瓷上海硅酸盐所复杂形状大尺寸激光基质材料中红外波段光学窗口钇铝石榴石

分类号 TQ174.758 [化学工程—陶瓷工业]

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山东陶瓷

2013年第2期

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