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平面平晶(Φ30-Φ100mm)的平面度测量及其不确定度分析

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摘要本文主要介绍 (Φ30 -Φ1 0 0mm)平面平晶的测量方法和平面度计算公式 ,并且利用微分原理对平面平晶 (Φ30 -Φ1 0 0mm)不确定度的推导及其具体分析各项误差来源 ,最后通过举例说明怎样计算合成不确定度和扩展不确定度。

作者朱绯红

机构地区江苏省计量测试技术研究所

出处《上海计量测试》 2000年第3期20-21,共2页 Shanghai Measurement and Testing

关键词平面平晶 Φ30-Φ100mm 平面度测量不确定度

分类号 TH74 [机械工程—光学工程]

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上海计量测试

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