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热丝化学气相沉积(HFCVD)制备金刚石薄膜涂层刀具 被引量:5

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摘要 论述了化学气相沉积(hot filament chemical vapor deposition,HFCVD)法制备金刚石薄膜刀具的原理、开发现状、存在的主要问题,重点介绍了热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜刀具的工艺方法及技术要点。
作者 宋亚林 程敏
出处 《鄂州大学学报》 2013年第3期78-80,共3页 Journal of Ezhou University
基金 湖北省高等学校省级教学研究项目(2012420)
  • 相关文献

参考文献4

二级参考文献40

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共引文献26

同被引文献63

引证文献5

二级引证文献8

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