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扫描电子显微镜高压系统故障诊断和排除

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摘要本文从扫描电子显微镜高压系统常见故障入手,进行综合分析,阐述排除故障的技巧,从而提高检修工作的针对性,达到快速准确的检修效果.

作者李荣华

机构地区华侨大学材料物化研究所

出处《分析仪器》 CAS 1991年第1期75-77,共3页 Analytical Instrumentation

关键词电子显微镜高压系统故障诊断

分类号 TN16 [电子电信—物理电子学]

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分析仪器

1991年第1期

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