基于柔性铰链和磁致伸缩效应的二维微定位机构的研究被引量：2

下载PDF

导出

摘要设计了一种新型的基于柔性铰链和磁致伸缩效应的纳米级二维微定位机构 ,并对该机构进行了实验研究 ,其重复定位精度在 4μm× 4μm范围内为± 2 nm。

作者王彤宇张树仁

机构地区长春光学精密机械学院

出处《新技术新工艺》北大核心 2000年第12期12-13,共2页 New Technology & New Process

关键词柔性铰链磁致伸缩效应微定位机构纳米加工

参考文献1

1王红艳,张建雄,戴学丰.基于柔性铰链结构的二维微动工作台研究[J].机床与液压,2007,35(4):50-52. 被引量：1
2HOWELL L L. Compliant mechanisms[ M ]. New York:Wiley Interscience,2001.
3Paros J M, WeisboroL. How to design flexure hinges [ J ]. Machine Design, 1965,37 (27) : 151 - 157.
4孙萍,陈建宇.双层柔性铰链微小夹持器[J].上海大学学报（自然科学版）,1997,3(3):274-282. 被引量：7
5王雯静,余跃庆.平面柔顺四杆机构的驱动特性分析[J].中国机械工程,2009,10(2):127-130. 被引量：5
6于靖军,裴旭,毕树生,宗光华,张宪民.柔性铰链机构设计方法的研究进展[J].机械工程学报,2010,46(13):2-13. 被引量：118
7李兵,王知行,胡颖.新型并联机床的刚度计算模型[J].机械设计,1999,16(3):14-16. 被引量：6
8李娜,赵铁石,孙东波,边辉,张建锐.分布式全柔顺机构伪刚体建模[J].机械工程学报,2010,46(19):17-23. 被引量：11
9张定会.采用柔性铰链实现微位移的方法研究[J].工业仪表与自动化装置,1999(5):11-13. 被引量：12
10张秀利,梁迎春,董申.超精密机床中柔性铰链的结构多目标模糊优化设计[J].机械科学与技术,1999,18(6):928-930. 被引量：1

新技术新工艺

2000年第12期

内容加载中请稍等...