全国半导体设备和材料标准化技术委员会第三届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会年会圆满闭幕

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摘要全国半导体设备和材料标准化技术委员会第三届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会年会于2013年11月11—13日在四川成都隆重召开，大会由全国半导体设备材料标准化技术委员会秘书处王香秘书主持。

出处《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第12期812-812,共1页 Micronanoelectronic Technology

关键词标准化技术委员会半导体设备技术交流会设备材料微光刻年会秘书处主持

微纳电子技术

2013年第12期

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