微细金属图形制作中的剥离技术被引量：23

Lift-off Techniques Applyed in Fine-line Metal Pattern Fabrication

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摘要介绍了用于微细金属图形制作中的剥离技术的一些基本要求 ,同时简述了常用的几种剥离方法。 The basic requirements of lift off technique applyied in fine line metal pattern fabrication are in troduced in this paper.Several commonly used lift off methods,principles and their applications are also given.

作者王文如杨正兵

机构地区四川压电与声光技术研究所

出处《压电与声光》 CSCD 北大核心 2001年第1期68-73,共6页 Piezoelectrics & Acoustooptics

关键词剥离微细金属图形半导体工艺 lift off lift off methods example

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]

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