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用于力敏传感器研制的简易双面光刻装置

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摘要 利用原有的单面光刻设备,附加简单的真空吸附光刻附件,可以对图形尺寸较大的硅杯式力敏传感器进行双面光刻,实验表明利用这一装置研制的4×4触觉传感阵列,光刻精度满足要求.
作者 袁璟
出处 《电子器件》 CAS 1990年第4期46-47,共2页 Chinese Journal of Electron Devices
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