期刊导航
期刊开放获取
重庆大学
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
用于力敏传感器研制的简易双面光刻装置
下载PDF
职称材料
导出
摘要
利用原有的单面光刻设备,附加简单的真空吸附光刻附件,可以对图形尺寸较大的硅杯式力敏传感器进行双面光刻,实验表明利用这一装置研制的4×4触觉传感阵列,光刻精度满足要求.
作者
袁璟
出处
《电子器件》
CAS
1990年第4期46-47,共2页
Chinese Journal of Electron Devices
关键词
力敏传感器
实验装置
双面光刻装置
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
0
共引文献
0
同被引文献
0
引证文献
0
二级引证文献
0
1
袁璟.
用于力敏传感器的简易双面光刻装置[J]
.半导体杂志,1991,16(4):51-52.
2
霍泰岷.
扩散硅力敏传感器初探[J]
.红讯半导体,1989(3):6-12.
3
潘明端.
双面光刻技术[J]
.半导体技术,1989,5(1):7-8.
4
张艳红,刘兵武,刘理天,张兆华,谭智敏,林惠旺.
TPMS硅基压阻式压力传感器的研制[J]
.传感技术学报,2006,19(05B):1822-1825.
被引量:5
5
陈东帆,王荣航.
CAD中的图形尺寸自动修改[J]
.组合机床与自动化加工技术,1993(2):7-9.
6
杨德荣.
工程图形自动标注尺寸的图论方法[J]
.机械研究与应用,2008,21(2):96-98.
被引量:3
7
真空吸放台[J]
.电子制作,2002,10(7):60-60.
8
陈志凌.
环矩形真空吸浮导轨的仿真分析[J]
.机械,2006,33(S1):20-21.
9
朱长纯,王海笑.
一种新型绝对高真空压力规结构的设计[J]
.西安交通大学学报,1995,29(1):27-33.
被引量:1
10
李昕欣,杨恒,鲍敏杭,沈绍群.
硅多层微机械结构无掩模腐蚀新技术及在力敏结构制作中的应用[J]
.半导体技术,1998,23(3):6-9.
电子器件
1990年 第4期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部