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测辐射热计的氧化钒薄膜成技术研究和微桥结构研制

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摘要介绍了研制中的测辐射热计的工作原理，器件结构的几何形状和研制状况，叙述了测辐射热计材料的特征及制备技术。

作者陈建国郭群英等

机构地区中国兵器工业第

出处《集成电路通讯》 2001年第3期33-36,共4页

关键词测辐射热计微桥结构氧化钒薄膜红外探测器

分类号 TN215 [电子电信—物理电子学]

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集成电路通讯

2001年第3期

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