JXA-840扫描电子显微镜故障检修二例

Two Cases for Repairing of JXA-840 Scanning Electron Microscope

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摘要对扫描电子显微镜图像出现畸形和真空控制系统故障的实例进行了分析和检修 ,并介绍了 This paper analysed the abnormal image of a scanning electron microscope and the disorder of a vacuum control system, and introduced the overhauling methods.

作者徐容

机构地区华东师范大学电镜中心

出处《实验室研究与探索》 CAS 2001年第5期80-81,共2页 Research and Exploration In Laboratory

关键词扫描电子显微镜故障分析检修图像畸形真空控制系统实验设备 scanning electron microscope disorder analysis repairing

分类号 TN16 [电子电信—物理电子学] G482 [文化科学—教育技术学]

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