期刊文献+

提拉法生长单晶工艺中扩肩阶段实行自动控制的研究 被引量:7

Research on the Autocontrol of the Stage of Extending Shoulder inGrowing Crystal by the Czochralski Method
下载PDF
导出
摘要 在用提拉法 (Czochralski)生长钽酸锂 (LiTaO3 )、铌酸锂 (LiNbO3 )单晶的实践中 ,通过对上“浮秤”模拟体的优化设计 。 In this paper,the autocontrol of the stage of extending shoulder in growing lithium tantalate (LiTaO 3) crystal and lithium niobate (LiNbO 3) crystal by using Czochralski method has been investigated.Simulacrum of the top floating steelyard has been made by optiming design,and the autocontrol of the stage of extending shoulder is achieved.
出处 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期393-397,共5页 Journal of Synthetic Crystals
关键词 提拉法 自动扩肩 上“浮秤” 优化设计 逆向模拟 单晶 工艺 自动控制 Czochralski method auto extending shoulder top floating steelyard optiming design inverted simulate
  • 相关文献

参考文献1

  • 1张克从,晶体生长科学与技术,1997年

同被引文献46

引证文献7

二级引证文献17

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部