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白光干涉的谱分析及其数据处理 被引量：5

THE ANALYSIS OF WHITE LIGHT INTERFERENCE PATTERN AND DATA PROCESSING
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摘要 通过分析白光干涉谱 ,计算出生长在 Ga As衬底上的氮化镓薄膜厚度。 The thickness of GaN films grown on GaAs substrate are calculated,through analyzing the white-light interference pattern in this paper.The information of the interference pattern and the way of data processing are discussed in details.
作者 常久伟 徐菌 史庆军
机构地区 大连理工大学 佳木斯大学
出处 《应用光学》 CAS CSCD 2001年第6期28-30,共3页 Journal of Applied Optics
关键词 干涉谱 薄膜 数据分析 氮化镓 GAN 白光干涉 厚度 Interference pattern film data processing
分类号 O484.5 [理学—固体物理] TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
  • 相关文献

参考文献2

二级参考文献5

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共引文献24

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引证文献5

二级引证文献9

应用光学
2001年 第6期

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