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鼓泡法薄膜力学性能测试的研究现状 被引量:12

Current Status and Prospects of Bulge Experiments for Thin Film Behavior Testing
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摘要 对鼓泡法薄膜力学性能测试的现状做了评述 ,重点分析了该实验方法所用力学模型的最新进展 ,剖析了所涉及的制样方法和力学模型的特点及所存在的问题 ; The current status of bulge experiments for testing mechanical properties of thin film is outlined in this article. Stressed is the status of the mechanical model and the manufacture of specimens used in the test, including their advantages and disadvantages. Moreover, the possible prospects of this test are overviewed.
机构地区 西安交通大学
出处 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期321-325,共5页 Rare Metal Materials and Engineering
基金 国家自然科学基金重点资助项目 (5 9830 0 79)
关键词 鼓泡实验 薄膜 力学性能 bulge test specimen preparation mechanical model
  • 相关文献

参考文献2

  • 1Yang W M C,J Appl Phys,1997年,48卷,3期,876页
  • 2Lin P,博士学位论文,1990年,58页

同被引文献111

引证文献12

二级引证文献38

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